济南市图书馆 颗粒类型
知识出处
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知识出处：
济南科技志
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类型：
其他
多功能电子束曝光机数字控制器
完成单位：山东工业大学
主要研究人员：张玉林
该机以DJS130计算机为控制机，完成对曝光机的全部控制，具有工作台运动中的扫描控制功能，反射电子探测器控制功能，扫描场正交及少量旋转功能，邻近效应硬件补偿接口等。...