济南市图书馆

多功能电子束曝光机数字控制器 完成单位：山东工业大学 主要研究人员：张玉林 该机以DJS130计算机为控制机，完成对曝光机的全部控制，具有工作台运动中的扫描控制功能，反射电子探测器控制功能，扫描场正交及少量旋转功能，邻近效应硬件补偿接口等。鉴定认为该机运行稳定可靠，操作方便，功能齐全，可连续型扫描控制、变速变形扫描、变数据扫任意图形及数据通道用于电子束机的信息传输等。该机的某些功能达到国内领先水平。