福建省图书馆

福建生产的光学仪器主要有显微镜、激光平整度检测仪、紫外线照度计、激光腐蚀监控仪等。生产企业有福建光学仪器厂、福建无线电配件厂、顺昌县无线电厂、厦门光学仪器厂、光泽无线电厂等。
  (一）显微镜
  1970年，我国微电子工业迅速发展，急需为之配套显微镜，福建光学仪器厂当年仿制了江南光学仪器厂的变档式体视显微镜（l00x)。对该产品使用的玻璃材料吸收系数较大、结构复杂，作了较大修改。修改工作由赖爱光、占柱臣、林茂智等人负责，参考了福州照相机厂生产的直筒体视显微镜，采用了一种镜头转换方法，体积小，镜片也减小。产品试制出来后，虽不甚成功，但对这个厂的设计人员是一次很有意义的锻炼，也是这个厂光学自行设计的一个突破性开端。1972年，该厂设计研制了6台援助罗马尼亚的连续变倍体视显微镜和1〇台援助朝鲜的40X指形镜体视显微镜的任务。1976年，根据进口的国外变倍体视显微镜样机，自行设计和生产了XTD－I型体视显微镜。这种显微镜成像清晰、工作距大、使用方便。特别是因具有正像立体感和观察目镜筒与工作台面倾斜45度，成为半导体器件生产和精密仪器仪表装配、检修等行业的专用仪器。1970年至1981年，该厂共生产显微镜1626台。品种有双视场显微镜、连续变倍体视显微镜、直筒体视显微镜、精缩机观察显微镜、生物显微镜等。
  1976年，福建无线电配件厂试制生产双视场显微镜，为四机部708厂配套。这种显微镜用于集成电路和大规模集成电路制作中的光刻工序。必须具有工作距离长、景深长、成像清晰、照明均匀等条件。当年12月，该厂与708厂达成移交双视场显微镜生产的技术协议书。1977年9月，省电子局召开了双视场显微镜会战的会议，要求在1978年前完成600台的任务。
  参加会议的有福建无线电厂、光泽光学仪器厂、福建无线电元件厂、闽清电瓷厂、福州照相机厂、三明光学仪器厂、福建光学仪器厂和福建无线电配件厂等。福建无线电配件厂1978年生产了136台，至1980年生产了223台（福建光学仪器厂共生产378台）。
  1977年至1980年间，厦门光学仪器厂生产GX观察显微镜249台、对刀显微镜450台；顺昌县无线电光学元件厂生产光学镜片36451片；光泽光学仪器厂生产光学镜片21940片；福建无线电配件厂专门建立光学车间，自行研磨光学镜片，还生产F25工业镜头、1.5~3倍放大镜、聚光镜等产品。
  (二）激光仪器
  1972年，福建光学仪器厂组建了一个激光仪器研制小组，研制课题是C02激光器。该厂还与福建物质结构研究所和成都电讯工程学院合作研制激光多路通讯的收、发射光学天线。
  激光仪器的生产始于1980年。主要产品有JP－I型激光平整度检测仪、FJ－I型激光腐蚀监控仪和激光空间滤波器。该厂与省光学技术研究所研制的JP－I型激光平整度检测仪获1980年福建省科技成果三等奖。该产品是利用光波干涉法测超微粒干板和硅片表面以及其它低反射率的光学平整度仪器。附有棱镜部件，更换棱镜，可分别测试不同规格的方形粒干板圆形硅片，是集成电路工艺的一种重要检测仪器。FJ－I型激光腐蚀监控仪，是采用光的相干原理对半导体制作工艺中的硅晶片膜层的腐蚀进行精确地监控，可及时得知腐蚀层厚和腐蚀终点，避免腐蚀不足或过度腐蚀。监控时，仪器的控制精度等性能，不受腐蚀气体（或液体）的浓度和温度等因素的影响。该仪器对湿化学腐蚀和等离子腐蚀都能使用，并能相对精确监控外延层生产厚度。该产品填补了国内这方面的空白。
  (三）照度计
  福建光学仪器厂开发的ZZH－10型紫外线照度计，是仿日本USH10电气公司UIT－100型紫外线照度计试制生产的新产品。该产品使用新型的光敏场效应管作为探测元件，通过紫外滤色片可测量汞灯的紫外光辐射强度。主要用于测量光刻机、掩膜机、翻版机中紫外光源的均匀性和平行性，保证光刻机和复印的质量，提高成品率；也可用于使用汞灯作为紫外光源的其它场合，对于其它紫外光源亦可进行相对的测量。其技术性能良好，主要技术指标达到或接近UIT－100型产品水平，其中量程范围超过UIT－100型产品的3倍。
  福建光学仪器厂从1980年至1988年，共生产各种光学仪器（不含显微镜及镜片）1355台。