内容出处: | 《福建省志·电子工业志》 图书 |
唯一号: | 130020020230002405 |
颗粒名称: | 二、半导体器件工艺设备 |
分类号: | TN303 |
页数: | 1 |
页码: | 124 |
摘要: | 本文记述了福建无线电设备厂和福州无线电二厂分别试制成功单晶炉和QL型单晶炉,用于生产单晶硅。福建无线电厂则试制了全晶体管结构的D41-3型四探针测试仪,并生产了超声波压焊机。厦门医疗电子仪器厂设计了超净恒温培养箱和水平超净工作台,以满足半导体器件生产的净化要求。 |
关键词: | 福建省 电子专用设备 半导体器件工艺设备 |