二、半导体器件工艺设备

知识类型: 析出资源
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内容出处: 《福建省志·电子工业志》 图书
唯一号: 130020020230002405
颗粒名称: 二、半导体器件工艺设备
分类号: TN303
页数: 1
页码: 124
摘要: 本文记述了福建无线电设备厂和福州无线电二厂分别试制成功单晶炉和QL型单晶炉,用于生产单晶硅。福建无线电厂则试制了全晶体管结构的D41-3型四探针测试仪,并生产了超声波压焊机。厦门医疗电子仪器厂设计了超净恒温培养箱和水平超净工作台,以满足半导体器件生产的净化要求。
关键词: 福建省 电子专用设备 半导体器件工艺设备

内容

(一)单晶炉
  单晶炉是拉制单晶硅的设备。1970年,福建无线电设备厂在厦门大学、上海电子管厂(负责提供图纸资料)、漳州麻纺厂和福建无线电厂的协助下,用3个月时间试制成功福建第一台单晶炉(当时留在厦门大学)。此后,该厂又制造出4台单晶炉,提供给福建半导体器件厂生产单晶硅。
  1972年初,福州无线电二厂与浙江大学及福州通用机器厂等10多家企业合作试制成功QL型单晶炉两台,一台留浙江大学搞科研用,一台留福州无线电二厂生产单晶硅。
  (二)四探针测试仪
  四探针测试仪是用于半导体器件生产中测量扩散后硅片方块电阻的专用设备。1977年,福建无线电厂根据四机部要求,当年试制成功全晶体管结构的D41-3型四探针测试仪,至1979年,并生产452台。此后该产品因淘汰停止生产。
  (三)超净工作箱、工作台
  1977年,厦门医疗电子仪器厂设计生产XIDG-1型超净恒温培养箱和XIDP-Ⅲ型水平超净工作台。超净工作箱是根据半导体器件和精密仪器仪表等的干燥、培养箱对气流有净化要求而设计的。它采用水平层流,由箱体、预过滤器、通风机、高效过滤器、电热装置、温度自动调节控制单元组成,经过滤后的洁净空气再加热,由高效过滤器过滤,洁净的空气呈水平层流对箱体放置物品进行干燥、培养,超净工作台也是采用水平层流,达到局部区域洁净要求的设备。1977年至1980年,该厂生产超净工作箱3台、超净工作台105台。
  此外,福建无线电厂1978年生产超声波压焊机15台。

知识出处

福建省志·电子工业志

《福建省志·电子工业志》

本书记录了福建省电子工业有史料记载以来至1988年止,全行业的发展与现状。

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