福建省图书馆

(一）多晶硅
  1958年，厦门开元化工厂试产多晶硅成功。1959年10月，该厂生产的多晶硅在中国科学院有色金属研究所拉成两条约60克重的单晶硅。
  1965年，厦门市在大办电子工业中，支持厦门喷镀厂生产半导体器件，并将厦门电化厂的一个车间拨给喷镀厂生产硅材料。厦门电化厂制造氢气，而多晶硅的制备需氢气，所以硅材料生产放在电化厂内。1965年底，老工人黄添成等人成功地试制出长约40厘米、粗约指头大小的多晶硅。这时的多晶硅制备已采用四氯化硅和硅烷法。
  1970年，福州无线电二厂土法上马生产多晶硅，因无检测手段，依靠能否将多晶硅拉成单晶硅来判断多晶硅的质量，虽以硅烷法生产，但工艺不成熟，仅生产了两年，因耗资大，无所获而停产。
  1971年，福建半导体器件厂开始试制多晶硅，采用硅烷法生产出重约2公斤的多晶硅。共历时9年之久，其间设备换了两套，还盖了专门厂房，终因未能成功而停产，设备只好闲置。
  (二）单晶硅单晶硅是半导体器件工业的关键原材料。以往单晶硅靠进口，每公斤价值人民币40多万元。为了促进电子工业的发展，福建省决心解决单晶硅材料国产化问题。1970年初省电子电讯工业领导小组在全省组织制造多晶硅和单晶硅的大会战。设想从硅铁、多晶硅、单晶硅、切片、外延到制作管芯，全部立足本省，并配套成龙。生产多晶硅的有福州第二化工厂、三明化工厂、厦门化工厂、福州无线电二厂、泉州邮电器材厂、涵江玻璃厂、漳州罐头厂7家；生产单晶硅的有厦门大学、福州大学、国营8430厂、福州无线电二厂、漳州罐头厂、漳州麻纺厂、三明钢铁厂、南平铝厂等8家，耗资100多万元，造出了12台单晶炉。但因设备技术质量达不到要求，产品质量低劣，收效甚微，浪费不少。只有国营8430厂曾派人到上海、北京等地进行专业训练，并从外地调进了有丰富经验的专业技术人员，单晶硅的生产才得以正常进行，除供应省内器件厂的生产需要外，还销往省外。从1973年到1983年，共生产843公斤。80年代后，由于器件技术水平的提高，该厂的单晶硅及外延片的制作技术已经落后，逐渐被淘汰。
  (三）外延片
  1966年，厦门电子元件厂试制成功外延片，该厂生产的分立器件不再从外地购买外延片。1970年工厂迁到明溪县并入福建半导体器件厂后，建立了材料车间，于1971年投产。他们对生产管理、工艺状况作了不少改进，外延片的成本明显下降，1971年每片成本30元，1973年为16.5元，1976年为8.4元，1978年为8元，质量亦有所提高。产品已从晶体管——小规模集成电路——中规模集成电路这一趋势向前发展，对硅材料要求越来越高，但由于设备陈旧，该厂的硅材料的结构性、外延层电阻率以及厚度的均匀性无法满足生产需要，加上器件工艺水平低，反过来加剧了这些不良因素对器件质量的影响，因此，该厂于1983年停止生产硅外延片。从1973年到1983年，共生产外延片约66.63万片，除满足本厂需要外，曾供应其他省市。