长春图书馆

沈天慧（1923—2011），半导体化学家。浙江杭州人。曾任上海交通大学教授。1949年毕业于大同大学化工系，1957年至1959年赴苏联进修。1959年至1966年在中国科学院长春应用化学研究所工作。1980年当选为中国科学院学部委员（院士）。 沈天慧院士在长春应用化学研究所建立了我国第一个三氧氢硅法制备高纯硅小组，开创了中国人自己研制高纯硅的历史。她参加了包头稀土铁矿以及钼矿的分析工作，开展了用三氯氢硅法制备超纯硅的研究工作。1966年至1986年，她从事半导体材料及航天用大规模集成电路的研制；1978年成功地用等平面N沟硅栅MOS工艺，研制出大规模集成电路数种，当时在国内处于领先地位；1987年后，从事磁头磁盘及电磁型微马达的研制工作，在她的主持下，研制出我国第一台直径为2mm的微马达，对发展我国微电子事业发挥了重要的历史作用。 沈天慧曾获国家科学技术奖，国防科工委、航天部等部委科技奖励。